美國威格士VICKERS比例閥、伺服閥的工作原理
    美國威格士VICKERS比例閥和伺服閥按其功能可分為壓力式和流量式兩種。壓力式比例/伺服閥將輸給的電信號線性地轉(zhuǎn)換為氣體壓力；流量式比例/伺服閥將輸給的電信號轉(zhuǎn)換為氣體流量。由于氣體的可壓縮性，使氣缸或氣馬達(dá)等執(zhí)行元件的運動速度不僅取決于氣體流量。還取決于執(zhí)行元件的負(fù)載大小。因此地控制氣體流量往往是不必要的。單純的壓力式或流量式比例/伺服閥應(yīng)用不多，往往是壓力和流量結(jié)合在一起應(yīng)用更為廣泛。
    美國威格士VICKERS比例閥和伺服閥主要由電---機械轉(zhuǎn)換器和氣動放大器組成。但隨著近年來廉價的電子集成電路和各種檢測器件的大量出現(xiàn)，在1電---氣比例/伺服閥中越來越多地采用了電反饋方法，這也大大提高了比例/伺服閥的性能。電---氣比例/伺服閥可采用的反饋控制方式，閥內(nèi)就增加了位移或壓力檢測器件，有的還集成有控制放大器。
一、    滑閥式美國威格士VICKERS方向比例閥
流量式四通或五通比例控制閥可以控制氣動執(zhí)行元件在兩個方向上的運動速度，這類閥也稱方向比例閥。圖示即為這類閥的結(jié)構(gòu)原理圖。它由直流比例電磁鐵1、閥芯2、閥套3、閥體4、位移傳感器5和控制放大器6等贊成。位移傳感器采用電感式原理，它的作用是將比例電磁鐵的銜鐵位移線性地轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出。控制放大器的主要作用是：
1）    將位移傳感器的輸出信號進(jìn)行放大；
2）    比較指令信號Ue和位移反饋信號Uf，得到兩者的差植  U；
3）    將 U放大，轉(zhuǎn)換為電流信號I輸出。此外，為了改善比例閥的性能，控制放大器還含有對反饋信號Uf和電壓差 U的處理環(huán)節(jié)。比如狀態(tài)反饋控制和PID調(diào)節(jié)等。
帶位置反饋的滑閥式方向比例閥，其工作原理是：在初始狀態(tài)，控制放大器的指令信號UF=0，閥芯處于零位，此時氣源口P與A、B兩端輸出口同時被切斷，A、B兩口與排氣口也切斷，無流量輸出；同時位移傳感器的反饋電壓Uf=0。若閥芯受到某種干擾而偏離調(diào)定的零位時，位移傳感器將輸出一定的電壓Uf，控制放大器將得到的  U=-Uf放大后輸出給電流比例電磁鐵，電磁鐵產(chǎn)生的推力迫使閥芯回到零位。若指令Ue>0，則電壓差  U增大，使控制放大器的輸出電流增大，比例電磁鐵的輸出推力也增大，推動閥芯右移。而閥芯的右移又引起反饋電壓Uf的增大，直至Uf與指令電壓Ue基本相等，閥芯達(dá)到力平衡。此時。
 美國威格士VICKERS比例閥、伺服閥的工作原理

               Ue=Uf=KfX（Kf為位移傳感器增益）
上式表明閥芯位移X與輸入信號Ue成正比。若指令電壓信號Ue<0，通過上式類似的反饋調(diào)節(jié)過程，使閥芯左移一定距離。
閥芯右移時，氣源口P與A口連通，B口與排氣口連通；閥芯左移時，P與B連通，A與排氣口連通。節(jié)流口開口量隨閥芯位移的增大而增大。上述的工作原理說明帶位移反饋的方向比例閥節(jié)流口開口量與氣流方向均受輸入電壓Ue的線性控制。
這類閥的優(yōu)點是線性度好，滯回小，動態(tài)性能高。
二、    滑閥式二級方向伺閥
下圖所示為一種動圈式二級方向伺服閥。它主要由動圈式力馬達(dá)、噴嘴擋板式氣動放大器、滑閥式氣動放大器、反饋彈簧等組成。噴嘴檔板氣動放大器做前置級，滑閥式氣動放大器做功率級。
這種二級方向伺服閥的工作原理是：在初始狀態(tài)，左右兩動圈式力馬達(dá)均無電流輸入，也無力輸出。在噴嘴氣流作用下，兩擋板使可變節(jié)流器處于全開狀態(tài)，容腔3、7內(nèi)壓力幾乎與大氣壓相同。滑閥閥芯被裝在兩側(cè)的反饋彈簧5、6推在中位，兩輸出口A、B與氣源口P和排氣口O均被隔開。
當(dāng)某個動圈式馬達(dá)有電流輸入是（例如右側(cè)力馬達(dá)），輸出與電流I成正比的推力Fm將擋板推向噴嘴，使可變節(jié)流器的流通面積減小，容腔6內(nèi)的氣壓P6升高，升高后的P6又通過噴嘴對檔板產(chǎn)生反推力Ff。當(dāng)Ff與Fm平衡時，P6趨于穩(wěn)定，其穩(wěn)定值乘以噴嘴面積Ay等于電磁力。另一方面，P6升高使閥芯兩側(cè)產(chǎn)生壓力差，該壓力差作用于閥芯斷面使閥芯克服反饋彈簧力左移，并使左邊反饋彈簧的壓縮量增加，產(chǎn)生附加的彈簧力Fs，方向向右，大小與閥芯位移X成正比。當(dāng)閥芯移動到一定位置時，彈簧附加作用力與7、3容腔的壓差對閥芯的作用力達(dá)到平衡，閥芯不在移動。此時同時存在閥芯和擋板的受力平衡方程式：
美國威格士VICKERS比例閥、伺服閥的工作原理

      Fs=KsX=（P6-P5）Ax
      Ff=P6Ay=KiI
式中  KS----反饋彈簧剛度
      Ax----閥芯斷面積
      Kf----動圈式力馬達(dá)的電流增益。
在上述的調(diào)節(jié)過程中，左側(cè)的噴嘴擋板始終處于全開狀態(tài)，可以認(rèn)為P5=0，代入后整理上述兩式可得
                    X=（AxKi/AyKs）*I
閥芯位移與輸入電流成正比。當(dāng)另一側(cè)動圈式馬達(dá)有輸入時，通過上述類似的調(diào)節(jié)過程，閥芯將向相反方向移動一定距離。
當(dāng)閥芯左移時，氣源口P與輸出口A連通，B口通大氣；閥芯右移時，P與B通，A口通大氣。閥芯位移量越大，閥口開口量也越大。這樣就實現(xiàn)了對氣流的流動方向和流量的控制。
這類閥采用動圈式馬達(dá)，動態(tài)性能好，缺點是結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜。
三、    動圈式壓力伺服閥
圖示是一種壓力伺服閥，其功能是將電信號成比例地轉(zhuǎn)換為氣體壓力輸出。主要組成部分有：動圈式力馬達(dá)1、噴嘴2、擋板3、固定節(jié)流口4、閥芯5、閥體6、復(fù)位彈簧7、租尼孔8等。
初始狀態(tài)時，力馬達(dá)無電流輸入，噴嘴與擋板處在全開位置，控制腔內(nèi)的壓力與大氣壓幾乎相等。滑閥閥芯在復(fù)位彈簧推力的作用下處在右位，這時輸出口A與排氣口通，與氣源口P斷開。當(dāng)力馬達(dá)有電流I輸入時，力馬達(dá)產(chǎn)生推力Fm（=KiI），將擋板推向噴嘴，控制腔內(nèi)的氣壓P9升高。P9的升高使擋板產(chǎn)生反推力，直至與電磁力Fm相平衡時P9才穩(wěn)定，這時
        Fm=Iki=P9Ay+Yksy
式中  Ay----噴嘴噴口面積；
      Y----擋板位移；
      Ksy----力馬達(dá)復(fù)位彈簧剛度。
另一方面，P9升高使閥芯左依，打開A口與P口，A口的輸出壓力P10升高，而P10經(jīng)過阻尼孔8被引到閥芯左腔，該腔內(nèi)的壓力P11也隨之升高。P11作用于閥芯左端面阻止閥芯移動，直至閥芯受力平衡，這時
      （P9-P11）Ax=（X+X0）Ksx
式中  A x----閥芯斷面積；
      X----閥芯位移；
        X0----滑閥復(fù)位彈簧的預(yù)壓縮量；
        Ksx----滑閥復(fù)位彈簧剛度。
由以上兩式可得到
  P11=[P9Ax-（X+X0）Ksx]/Ax=（Iki-Yksy）/Ay-（X+X0）Ksx/Ax
由設(shè)計保證，使工作時閥芯有效行程X與彈簧預(yù)壓縮量X0相比小得多，可忽略不計，同時擋板位移量Y在調(diào)節(jié)過程中變化很小，可近似為一常數(shù)，則上式簡化為
    P11=KI+C
其中K=Ki/Ay,稱為電-氣伺服閥的電流—壓力增益，而C=-（X0Ksx/Ax+Yksy/Ay）是一常數(shù)。
由上式可見，P11與輸入電流成線性關(guān)系。閥芯處于平衡時，P10=P11，因此伺服閥的輸出壓力與輸入電流成線性關(guān)系。
四、    脈寬調(diào)制伺服閥
與模擬式伺服閥不同，脈寬調(diào)制氣動伺服控制是一種數(shù)字式伺服控制，采用的控制閥是開關(guān)式氣動電磁閥。脈寬調(diào)制氣動伺服系統(tǒng)如圖所示。輸入的模擬信號經(jīng)脈寬調(diào)制器調(diào)制成具有一定頻率和一定幅值的脈沖信號，經(jīng)數(shù)字放大后控制氣動電磁閥。電磁閥輸出的是具有一定壓力和流量的氣動脈沖信號，但已具有足夠的功率，能借助氣動執(zhí)行元件對負(fù)載做功。脈沖信號必須通過低通濾波器還原成模擬信號去控制負(fù)載。低通濾波器可以是氣動執(zhí)行元件，也可以是負(fù)載本身。采用前者濾波方式的稱脈寬調(diào)制線性化系統(tǒng)，采用后者濾波的是依靠負(fù)載的較大慣性，它不能響應(yīng)高頻的脈沖信號，只能響應(yīng)脈寬調(diào)制信號的平均效果。
負(fù)載響應(yīng)的平均效果是與脈寬調(diào)制信號的調(diào)制量成正比的，其控制機理是：對于一個周期的脈沖波，設(shè)正脈沖和負(fù)脈沖的時間分別為T1和T2，周期為T，脈沖幅值為Ym ,則一個周期內(nèi)的平均輸出Ya為
    Ya=Ym（T1-T2）/T=YmKm
式中Km=（T1-T2）/T稱調(diào)制量（也稱調(diào)制系數(shù)）。一個周期的脈沖波及調(diào)制量與平均輸出的關(guān)系如下圖。由于調(diào)制量Km與輸入的模擬信號U成正比（這正是控制系統(tǒng)所要求的），因此平均輸出與輸入的模擬信號之間存在線性關(guān)系。
在脈寬調(diào)制氣動伺服系統(tǒng)中，脈寬調(diào)制伺服閥完成信號的轉(zhuǎn)換與放大作用，其常見的結(jié)構(gòu)有四通滑閥型和三通球閥型。下圖所示為滑閥式脈寬調(diào)制伺服閥的結(jié)構(gòu)原理圖。滑閥兩端各有一個電磁鐵，脈沖信號電流加在兩個電磁鐵上，控制閥芯按脈沖信號的頻率往復(fù)運動。
脈寬調(diào)制伺服閥的性能主要是動態(tài)響應(yīng)和對稱性要求。假設(shè)加在電磁鐵上的是方波脈沖信號，從電磁鐵接到信號到執(zhí)行元件開始動作這段時間稱信號的延遲時間。延遲時間包括三部分，一是電磁線圈中電流由零逐漸增大到銜鐵開始運動的電流增長時間；二是銜鐵與閥芯一起運動的時間；三是從節(jié)流口打開、執(zhí)行元件工作腔進(jìn)行放氣到執(zhí)行元件開始動作的固定容器充放時間。前兩部分時間是由脈寬調(diào)制伺服閥決定。脈寬調(diào)制氣動伺服的工作頻率一般是十幾赫茲到二三十赫茲。為了滿足動態(tài)響應(yīng)快的特點，要求延遲時間越短越好，一般控制在1~2ms以內(nèi)。
所謂對稱性要求，對四通滑閥，閥芯往復(fù)運動的響應(yīng)要一致，即加在兩個電磁鐵上的脈沖信號在傳遞過程中延遲時間應(yīng)基本相同，兩輸出口的壓力與流量應(yīng)基本相同；對三通球閥，對應(yīng)脈沖信號上升沿下降沿的延遲時間應(yīng)基本相同，球閥的充氣過程和排氣過程應(yīng)基本相同。由于三通球閥與差動氣缸匹配，其對稱性不如四通滑閥好。
為了提高四通滑閥的快速響應(yīng)，常采用力反饋來提高閥芯反向運動的速度。圖所采用的是彈簧反饋的形式。當(dāng)信號反向時，彈簧力幫助閥芯反向運動，當(dāng)閥芯運動過了中位，彈簧力改變，起阻止閥芯運動的作用，并能減輕閥芯到位的沖擊力，降低噪聲。也有采用氣壓反饋的形式，其作用原理是一樣的。
脈寬調(diào)制控制與模擬控制相比有很多優(yōu)點：控制閥在高頻開關(guān)狀態(tài)下工作，能消除死區(qū)、干摩擦等非線性因素；控制閥加工精度要求不高，降低了控制系統(tǒng)成本；控制閥節(jié)流口經(jīng)常處于全開狀態(tài)，抗污染能力強，工作可靠。缺點是功率輸出小，機械振動和噪聲較。
美國威格士VICKERS比例伺服系統(tǒng)的應(yīng)用實例
一、    柔性定位伺服氣缸
圖示為一柔性定位氣缸（又稱位置伺服控制系統(tǒng)）。該系統(tǒng)可以根據(jù)輸給的電信號使氣缸活塞在任意位置定位。
位置伺服控制系統(tǒng)由電—氣方向比例閥由氣缸1、2、位移傳感器3、控制放大器4等組成。該系統(tǒng)的基本原理是通過控制放大器、電—氣比例閥、氣缸的調(diào)節(jié)作用，使輸入電壓信號Ue與氣缸位移反饋信號Uf（Uf與氣缸位移之間是線性關(guān)系）之差  U減小并趨于零，以實現(xiàn)氣缸位移對輸入信號的跟蹤。
調(diào)節(jié)過程如下：若給定的輸入信號Uf大于反饋信號Uf，  U＞0，控制放大器輸出電流I增大，使-電—氣比例閥的閥芯左移，氣源口與A口之間的節(jié)流面積增大，氣缸A腔的壓力Pa升高并推動活塞右移。氣缸活塞的右移又使反饋電壓信號Uf增大，因此電壓偏差 U減小，直至  U幾乎為零（采用PID調(diào)節(jié)的控制放大器可將穩(wěn)態(tài)偏差調(diào)節(jié)至零）。當(dāng)給定的輸入信號小于反饋信號Uf時， U＜0，同樣通過類似于上述的調(diào)節(jié)過程使偏差趨于零。因此在穩(wěn)定時， U=0即
    Ue=Uf=KX（K為常數(shù)）
這就實現(xiàn)了輸入信號Uf對氣缸活塞位移X的比例控制。上述的調(diào)節(jié)過程是在一段很短的時間內(nèi)完成的，故只要輸入信號Ue的主要頻率分量在系統(tǒng)的頻寬之內(nèi)，氣缸活塞位移就可以跟蹤Ue的變化。